西安橡膠空氣彈簧的剛度

彈性空氣彈簧的剛度設(shè)為k，隔振系統(tǒng)的阻尼系數(shù)為c，彈簧下的基礎(chǔ)為剛性基礎(chǔ)，彈簧隔振器的動(dòng)力學(xué)模型。它代表了壓印光刻機(jī)連接到橡膠空氣彈簧并固定在剛性基礎(chǔ)上的隔振問(wèn)題。對(duì)于外部運(yùn)動(dòng)位移xs振源的激勵(lì)，橡膠空氣彈簧起隔振作用。

實(shí)際隔振系統(tǒng)的質(zhì)量m由壓印光刻機(jī)、大理石板、粘彈性阻尼材料、水泥地基連接鋼板、空氣彈簧等組成。系統(tǒng)阻尼大，故設(shè)置隔離5Hz以上的振動(dòng)位移干擾。為滿(mǎn)足隔振系統(tǒng)的固有頻率fn=1Hz的要求，對(duì)空氣彈簧剛度和系統(tǒng)固有頻率進(jìn)行了選取，必須對(duì)其剛度進(jìn)行選取。考慮到簡(jiǎn)便易行，暫不考慮阻尼的影響，所以隔振系統(tǒng)的固有頻率?？諝鈴椈蓞?shù)估計(jì)隔振系統(tǒng)的固有頻率0.6Hz小于1Hz，結(jié)果滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求。

通過(guò)對(duì)實(shí)際隔振系統(tǒng)進(jìn)行振動(dòng)試驗(yàn)，得到自由振動(dòng)幅值衰減曲線(xiàn)。根據(jù)隔振系統(tǒng)的時(shí)域自由振動(dòng)曲線(xiàn)，通過(guò)頻譜分析可以得到隔振系統(tǒng)的頻譜特性，基頻為0.8Hz，滿(mǎn)足小于1Hz的要求，實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論估計(jì)0.6Hz非常接近，說(shuō)明理論估計(jì)是可靠的?？諝鈴椈筛粽衿骺梢詽M(mǎn)足低頻隔振的要求。隔振設(shè)計(jì)理論分析結(jié)果與實(shí)測(cè)結(jié)果基本一致，表明了理論分析的正確性。該工作對(duì)實(shí)際工程問(wèn)題具有參考價(jià)值。